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专利名称基于折叠梁结构的一体差动式石英振梁加速度计
申请日2012-05-29
申请号/专利号CN201210173100.5
专利权人北京航空航天大学
申请人北京航空航天大学
发明人/设计人周震;冯丽爽;王文璞;谭斌;杨功流;姚保寅
公告日2013-11-13
公告号CN102721831B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种基于折叠梁结构的一体差动式石英振梁加速度计,其振梁上镀有金属电极,振梁的一端与质量块连接,振梁的另一端与固定框连接;质量块的四个角分别通过四个折叠梁与固定框连接;固定框通过一连接臂与隔离框连接;隔离框通过另一连接臂与安装框连成一体。振梁与质量块之间通过两个空腔隔开;质量块的左右两侧与固定框之间通过空腔隔开;折叠梁与质量块的上下方和固定框之间通过空腔隔开;固定框与隔离框之间通过空腔隔开。该加速度计是在石英基片上采用常规的湿法腐蚀加工工艺去除构形空腔后得到。本发明设计的加速度计克服了已有技术中两个差动传感头间的机械耦合导致的测量盲区问题。
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