本发明实施例提供一种非旋转式的微波等离子体装置，微波谐振腔为中空的腔体，灯泡设置于腔体中；灯泡由设定材料制成，设定材料为对微波和光均透明的高温、高导热性材料。灯泡的形状由微波谐振腔的形状确定，谐振腔的形状为圆柱时，灯泡的形状为椭圆形或组合形。本发明实施例，由于灯泡由设定材料制成，使得微波等离子体装置在工作状态下不需要通过旋转灯泡进行散热，在提高安全性的同时，还取消了用于驱动灯泡旋转的电机，简化了微波等离子体装置的组成构件。并且，可以根据不同形状微波谐振腔中的电场分布情况确定灯泡的形状，使灯泡形状与谐振腔内的电场形状相配合，从而增大灯泡所处位置的电场强度，较大的电场强度提高等离子体的激发效率。