本发明公开了一种电子束设备束流运动控制用直流与低频交流信号组合放大装置，该装置包括有电位器组、第一低通滤波模块、模拟运算器、限流及低通滤波模块、功率放大模块和第二低通滤波模块。第一低通滤波模块对计算机和电位器组输出的信号进行滤波处理信号，然后，该滤波后信号顺次经模拟运算器、限流及低通滤波模块、功率放大模块和第二低通滤波模块处理后输出用于驱动电子光学镜筒的直流低频交流信号。本发明装置能够为控制电子束设备束流运动提供所需位置的偏转电压以及扫描电压，采用此装置的电子束物理气相沉积设备工作稳定，制备的涂层均匀致密。