本发明公开了一种AOI应用在激光蚀薄铜线圈的方法，其适用于至少一激光加工单元、扫描模块、影像分析单元与程序单元，该方法大致通过扫描模块针对有瑕疵的待加工产品的不良之处(涨缩、变形、凸点)进行逐片扫描，并将扫描后的影像传送至影像分析单元，并透过影像分析单元分析出较优的加工路径，并将优化后的加工路径转换成图档传送至程序单元，程序单元再依照该优化后的图档对激光加工单元进行加工指令，以减少激光加工制程中因为待加工产品本身不良所造成的加工不良率。本发明还公开了一种AOI应用在激光蚀薄铜线圈的设备，包含有激光加工单元、扫描模块、影像分析单元以及程序单元。