本发明涉及送料装置技术领域，公开了一种振动频率低且兼容性较高的三轴平面矩阵的柔性送料方法及设备，包括以下步骤：S1、将控制系统分别与本体、视觉相机定位装置及抓取设备通信连接；S2、振动盘控制器用于接收驱动往复式直线电机模组产生震动源的控制信号；S3、震动源与料盘中的物料形成共振拟合以使得物料可在料盘内沿着X、Y轴和/或Z轴方向聚拢或散开；S4、视觉相机装置用于接收触发信号，并用于获取本体停止振动后的物料图像信息，并将图像信息传送至控制系统，控制系统将图像信息处理成坐标信息；S5、控制系统将坐标信息发送至抓取设备，由抓取设备将物料取出。