本申请提供一种隧穿场效应晶体管及其制备方法，该隧穿场效应晶体管包括：双埋氧层结构基板；双埋氧层结构基板从下往上依次至少包括硅衬底、第一埋氧层、硅材料层以及第二埋氧层，硅材料层设有空气腔；源区、沟道区以及漏区；源区、沟道区以及漏区位于第二埋氧层表面，沟道区连接于源区与漏区之间，且源区和沟道区的位置对应空气腔；栅极介质层以及栅极材料层；栅极介质层至少位于沟道区表面，栅极材料层位于栅极介质层表面；源电极、漏电极以及栅电极；源电极形成于源区表面，漏电极形成于漏区表面，栅电极形成于栅极材料层表面；背栅电极；背栅电极形成于所述硅材料层表面，且背栅电极的位置对应漏电极的一侧。