本申请公开一种CF4气体浓度检测方法、装置、设备及准确度验证系统。其中，方法包括获取红外探测器采集的穿过待测CF4气体前的红外光测量入射信号和红外光参比入射信号、以及穿过待测CF4气体后的红外光测量信号和红外光参比信号；根据红外光测量入射信号、红外光参比入射信号、红外光测量信号、红外光参比信号的光强值确定待测CF4气体的吸收率；根据拟合多个时间点的吸收率反演得到相应时间点的CF4气体浓度，作为待测CF4气体的时间序列浓度信息；最后利用多变量灰色模型对时间序列浓度信息进行预测分析，得到待测CF4气体在未来预设时间段的浓度信息，实现了对气体绝缘高压组合电器中SF6分解产物CF4气体浓度的检测，有利于提升气体绝缘高压组合电器的稳定性。