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专利名称组合达曼光栅
申请日2012-01-06
申请号/专利号CN201210004449.6
专利权人中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人/设计人王少卿;周常河;韦盛斌;贾伟;曹红超;麻健勇
公告日2014-04-09
公告号CN102566056B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

一种组合达曼光栅,将N个满足光栅周期匹配条件的达曼光栅组合在一起,所述的光栅要满足周期匹配条件:当第n个达曼光栅为偶数型光栅,则dn需满足的光栅周期严格匹配条件为:2sin-1(mnλ/dn)+sin-1(2λ/dn)=sin-1(λ/dn-1);当第n个达曼光栅为奇数型光栅,则dn需满足的光栅周期严格匹配条件为:2sin-1(mnλ/dn)+sin-1(λ/dn)=sin-1(λ/dn-1);其中dn为第n个达曼光栅的周期,mn为其边缘衍射级次,n为正整数且n∈N,λ为入射激光波长。本发明对入射光多次衍射可实现相同工艺条件下单个达曼光栅难以实现的分束数量和分束角度,本发明具有使用方便,成本低廉,光点光强均匀等优点,可有力扩展达曼光栅的应用范围,有望在精密测量、机器视觉、航空航天等领域得到广泛的应用。
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