本发明提供一种反射式物质介质电参数的确定方法、系统及设备，所述反射式物质介质电参数的确定方法包括：利用太赫兹时域光谱系统，获取参考反射数据信息及实际反射数据信息；其中，参考反射数据信息是以反射镜为反射面获取的反射数据信息；实际反射数据信息是以待测物体的表面为反射面获取的反射数据信息；根据预设的参数计算方式，计算待测物体的反射物质介质电参数。本发明可以在无法先验地获取被测样品的折射率信息的前提下(通常这是实际工程应用中不可避免的)，获得待测样品的实际厚度而非光程厚度信息。同时，可以快速测算不同入射偏振条件下的反射系数，快速校正实际应用时的反射参数，使得获取的反射式物质介质电参数更准确可靠。