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专利名称一种激光分束器分束角度测量方法、装置、设备及系统
申请日2019-12-19
申请号/专利号CN201911318423.7
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人/设计人张志宇;王凤;王若秋;薛栋林;张学军;张峰
公告日2020-03-06
公告号CN110864647A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类机械制造

摘要

本申请公开了一种激光分束器分束角度测量方法,包括确定转台的初始测量位置;确定自准直仪的像面上初始光斑阵列中的初始基准光斑,并确定初始光斑阵列中除初始基准光斑之外的其他光斑与初始基准光斑的第一角度;控制转台沿预设方向进行旋转,确定像面上当前光斑阵列中的基准光斑,并确定当前光斑阵列中除基准光斑之外的其他光斑与基准光斑的第二角度,直至当前光斑阵列中的光斑和初始光斑阵列中的光斑包括经激光分束器输出的光束阵列中所有光束的光斑;根据第一角度和第二角度,确定激光分束器的分束角度。通过该方法可以得到激光分束器的实际分束角度,实现对激光分束器分束角度的高精度检测。本申请还提供一种具有上述优点的装置、设备及系统。
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