本发明提供了一种ZnGaO紫外探测器，包括依次复合而成的衬底、锌镓氧材料薄膜、金属叉指电极和铟电极；所述锌镓氧材料薄膜中锌与镓的原子比大于1:2，所述锌镓氧材料薄膜为尖晶石结构。本发明提供的ZnGaO紫外探测器所使用的ZnGaO薄膜的晶相是ZnGa2O4结构，光吸收截止边位于250nm附近，锌和镓的原子比例与传统的1：2相比，镓原子的占比更低，但是材料仍可以维持ZnGa2O4的晶体结构。本发明提供的ZnGaO紫外探测器与传统ZnGa2O4紫外探测器相比，呈现出了更短的响应时间，且暗电流和响应度的参数基本没有变化，为提升ZnGaO紫外探测器的性能参数提供了有效的方法。