本发明公开了一种用含Si化合物提高钛和钛合金抗氧化性能的方法，属于钛合金材料领域。本发明通过既简单又高效的工艺方法将多级硅化物复合入钛材表面，借助机械压入法、压入‑激光熔合法和电刷镀法将多级硅化物SiC、Si3W5、Si2W、Ti5Si3、Al4SiC4、MoSi2、NbSi2、Si3N4、BaO3Si、Ca2O4Si、CrSi2、FeSi2和CaSi2中的至少一种复合入钛材表面，形成纳米级SiO2和纳米/微米级TiO2混合的致密氧化层，显著提高钛材的高温抗氧化性能，所述钛材在650℃‑850℃空气中保温100小时，氧化速率不超过未经任何处理的工业纯钛或钛合金的12.6％‑59.5％。