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专利名称电路板及其制造方法、半导体元件模板
申请日2019-12-10
申请号/专利号CN201911256991.9
专利权人东莞阿尔泰显示技术有限公司
申请人东莞阿尔泰显示技术有限公司
发明人/设计人梁文骥;赵春雷
公告日2020-03-06
公告号CN110868797A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类机械制造

摘要

本发明公开了一种电路板及其制造方法,以及应用该电路板的半导体元件模板。电路板的制作方法,包括以下步骤:a)提供一多层板,该多层板包括有从上至下设置的导电层、绝缘层以及线路层;b)采用激光钻孔的工艺在导电层、绝缘层形成通孔,该通孔上下贯穿导电层、绝缘层;c)对多层板进行电镀,通孔内沉积出导电柱,导电柱与线路层导电连接;d)采用机械打磨或/与化学腐蚀的工艺对导电层、导电柱进行处理,去除导电层并露出绝缘层的表面,使导电柱的顶面不高于绝缘层的表面。本发明中,通过激光钻孔的方式得到通孔,通孔内通过电镀沉积出导电柱,使得导电柱的直径尺寸精度达到±3um,位置精度达到±10um,满足半导体元件技术发展的应用趋势。
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