本发明涉及材料表面机械加工的领域，尤其是一种高速工具约束磨料零件表面可控精密光整加工工艺，其加工工序为：(1)、将零件在机床加工中心进行预加工和雕铣加工，再将对零件进行加工的刀具换成同等直径的硬质合金棒；(2)、将硬质合金棒固定在机床加工中心上，并使硬质合金棒与零件表面平行放置，使硬质合金棒与零件表面之间留有间隙，启动电机，使硬质合金棒高速旋转；(3)、倒入磨料混合液，将零件和硬质合金棒浸入磨料混合液中，磨料混合液通过硬质合金棒的高速旋转对零件表面进行微去除加工。本发明不仅消除了零件表面缺陷层，去除被加工零件表面过渡的塑性变形，还可以使零件表面的粗糙度符合要求。