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专利名称一种用于方棒中转的机械手装置
申请日2019-12-04
申请号/专利号CN201911225934.4
专利权人青岛高测科技股份有限公司
申请人青岛高测科技股份有限公司
发明人/设计人吴广忠;张笑笑;赵晓;东野广俊;王勇;宋培林;解培玉
公告日2020-02-21
公告号CN110815166A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类机械制造

摘要

本发明涉及一种用于方棒中转的机械手装置,属于半导体晶硅加工设备领域,包括中转框架,所述中转框架上滑动连接有抓手支架组件,所述抓手支架组件的下方滑动连接有抓手基板组件,所述抓手基板组件的下部设有至少一组方棒夹持单元,所述方棒夹持单元与所述抓手基板组件滑动连接,在夹持方棒的同时实现在X轴、Y轴和Z轴三个垂直正交方向上的位置调节,能够抓取不同长度和宽度的方棒,具有重复定位精度高、适用范围广泛的特点。
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