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专利名称一种样品搬运机构
申请日2019-12-02
申请号/专利号CN201911210839.7
专利权人大连齐维科技发展有限公司
申请人大连齐维科技发展有限公司
发明人/设计人郭方准;石晓倩
公告日2020-01-24
公告号CN110723537A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类机械制造

摘要

本发明提供一种样品搬运机构,属于超高真空样品传递技术领域,该搬运机构包括样品台、样品底座、抓手。样品台包括用于放置样品的平台和与平台底面固定连接的支架,支架由若干弹片围成圆形或方形,若干弹片内部设有一圈向外凸起的凹槽,样品底座上设有可插入支架的柱体,柱体上设有沿周边与凹槽相配合的连续或断续分布的凸台,柱体插入支架时,柱体外表面与弹片内表面接触,凸台与凹槽扣合。抓手用于抓放样品台,将样品台套入或拔出样品台底座。本发明结构简单,操作方便,其样品台与样品台底座采用分体式结构,样品台与样品台底座的连接采用若干弹片插接扣合方式,利用这种通用的样品搬运机构,可在不同超真空系统间进行样品的相互传递。
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