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专利名称一种非规则通光孔径反射镜控制边缘效应的组合加工方法
申请日2019-11-28
申请号/专利号CN201911195767.3
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人/设计人张海涛;刘钰;王鹍;毕春利;金春水
公告日2020-02-28
公告号CN110842658A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类机械制造

摘要

一种非规则通光孔径反射镜控制边缘效应的组合加工方法,涉及光学加工领域,解决现有光学元件的抛光方法存在适用性差,在在抛光后再过多的去除材料会造成反射镜整体应力的改变,进而影响元件面形等问题,该方法包括反射镜形状和表面铣磨、反射镜表面抛光、再次铣磨反射镜至需要的形状,铣磨需要光透过的区域、采用不产生边缘效应的加工方式去除边缘的翘边四个步骤,在抛光阶段预留了足够的余量,在抛光后又能实现较少的材料去除,保证抛光后反射镜元件变形小,可以有效控制非规则通光孔径反射镜的边缘效应。
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