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专利名称使用LED光源对透镜组进行非接触测量的光路及方法
申请日2019-11-28
申请号/专利号CN201911187406.4
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人/设计人曹佃生;林冠宇;李炳强;李继峰;赵柄然
公告日2020-03-13
公告号CN110879042A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类机械制造

摘要

本发明公开了使用LED光源对透镜组进行非接触测量的光路及方法,包括光源、前端监测光路,探测光路、后端监测光路、测量组件、反射镜,以及被测光学件;测量组件包括在同一光轴上依次设置的准直镜组、滤光片、第四分光立方棱镜、第六分光立方棱镜、第九分光立方棱镜、调焦光路,测量组件形成沿光轴方向的测量光路。本发明实施例提供的光路,通过调整反射镜的位置以改变探测光路中的光程。在反射镜移动过程中,记录探测光路得到的两次峰值信号时的反射镜的位移,得到被测光学件厚度对应的空气间隔;使用宽波段的单色LED光源,同时采用前端监测光路和后端监测光路来对LED光源进行监测,以在降低成本的同时保证测量精度。
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