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专利名称 | 柔性电极支撑结构 |
申请日 | 2019-11-27 |
申请号/专利号 | CN201911188540.6 |
专利权人 | 中国科学院微电子研究所 |
申请人 | 中国科学院微电子研究所 |
发明人/设计人 | 郜晨希;林琳;王迪;郑旭;刘瑞琪;远雁;李超波 |
公告日 | 2020-03-13 |
公告号 | CN110879111A |
法律状态 | 审中 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 | 机械制造 |
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