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专利名称一种基于光热折变玻璃的反射式体光栅制备方法
申请日2019-11-25
申请号/专利号CN201911167157.2
专利权人中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人/设计人晋云霞;孔钒宇;何冬兵;邵建达;曹红超;张益彬;王勇禄;陈俊明;孙勇;徐姣
公告日2020-03-13
公告号CN110879433A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类机械制造

摘要

一种基于光热折变玻璃的反射式体光栅制备方法,包括步骤:(1)曝光面进行精抛光;采用双束紫外平行光形成的干涉条纹对PTR玻璃进行曝光;采用450‑550℃的温度进行热显影;沿垂直于曝光入射面方向切割;对切割面精抛光处理后镀上对使用波长λ使透过率大于99.5%的全介质减反膜,完成反射式体光栅的制备。本发明通过调节曝光角度θ可实现对使用波长的调控,通过对曝光时长、热处理温度和时长实现对反射式体光栅的衍射效率(10%~99%)进行调控,通过切割厚度(0.3mm~30mm)调控实现对光谱半高宽(0.02nm~1nm)进行调控。通过工艺参数调节实现自由调控,且有利于实现规模化量产。
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