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专利名称提供受激拉曼散射光增益的硅基耦合谐振环结构构建方法
申请日2011-03-25
申请号/专利号CN201110073366.8
专利权人北京航空航天大学
申请人北京航空航天大学
发明人/设计人肖志松;燕路;邓思盛
公告日2013-05-01
公告号CN102147497B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明提供受激拉曼散射光增益的硅基耦合谐振环结构构建方法,该方法有四大步骤:一、在普通纯单晶硅表面下利用离子注入方法制作所需SOI基片;二、在上述SOI基片上构建提供受激拉曼散射光增益的硅基耦合谐振环的几何光路结构;三、在上述几何光路结构构建硅基SOI脊形波导;四、在上述的硅基脊形波导左右两侧,分别设置p+和n+掺杂区域以形成pn结,使得受激拉曼过程持续进行,产生光增益。拉曼光增益可以有效地补偿结构中传输光的损耗,增强其作为光波导陀螺的信噪比。因此,本发明可以实现具有高灵敏度的集成化光波导陀螺,它在集成光学陀螺耦合谐振环技术领域里具有较好的实用价值和广阔的应用前景。
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