一种高度几何仿生刚毛阵列，它是由硅橡胶、聚氨酯、硅橡胶-聚氨酯共聚物或者硅橡胶或聚氨酯与含有Si-H、烯基、胺基、羧基有机物形成的共聚物构成的、聚合物基体表面具有直径为50nm-10μm、长5-100μm刚毛和刚毛间距﹤2μm的仿生刚毛阵列。本发明的高度几何仿生刚毛阵列有高度的粘附性能，粘附性能处于0.3-32mN/mm2之间，可用于机器人、蜘蛛人等的粘附性脚掌（手掌）。将该阵列固定于机器人的脚掌上，依靠刚毛阵列与接触面之间的粘附力，可支撑一定重量的机器人在墙面或天花板表面行走。本发明公开了其制法。