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专利名称冰冻固结磨料抛光垫承载装置及其抛光垫
申请日2010-10-11
申请号/专利号CN201010502781.6
专利权人南京航空航天大学
申请人南京航空航天大学
发明人/设计人孙玉利;左敦稳;祝晓亮;卢文壮;朱永伟;李军;曹连静;张国家;史晨红
公告日2012-07-25
公告号CN102049739B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

一种冰冻固结磨料抛光垫承载装置及其抛光垫,包括刚度提供层(1)和隔热层(2),其特征是隔热层(2)在刚度提供层之上(1),并且两者的直径相同。刚度提供层(1)整体形状为“翼形”,隔热层(2)使用聚四氟乙烯等隔热材料,并且在其表面开有燕尾槽。本发明的目的是为了使得冰冻固结磨料抛光盘承载装置具有一定的刚度,又使得冰冻固结磨料抛光盘的融化速率得以均匀控制。
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