一种基于热引发固化的固结磨料研磨抛光垫及其制备方法，应用于精密超精密研磨与抛光加工领域。其特征在于所述的磨料层（１）组份及质量百分比如下：粒度在５０纳米～４０微米之间的磨料１～４０％，聚丙烯酸酯类的预聚物１０～６０％，自由基／阴离子／氧化－还原类热引发剂０．５～７％，磨料表面改性与分散剂０～２％，促进加速剂０～５％，性能调节添加剂０～２０％，丙烯酸酯化的活性稀释剂５～４０％。其制备过程如下：（１）原料充分混合均匀；（２）预备抛光垫模具，浇模加热固化制成磨粒层；（３）根据要求，采用粘结剂将磨料层与弹性或（和）刚性层粘结起来，即为本发明所要求的研磨抛光垫。采用热引发固化法制备的研磨抛光垫加工性能稳定，加工效率高，具有亲水性与自修正功能，适用于精密与超精密加工。