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专利名称一种基于静电自激振动原理的梳齿结构驱动器
申请日2018-04-02
申请号/专利号CN201810280278.7
专利权人北京航空航天大学
申请人北京航空航天大学
发明人/设计人闫晓军;竹阳升;刘志伟;漆明净;张小勇;黄大伟
公告日2019-10-01
公告号CN108631643B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明提供一种基于静电自激振动原理的梳齿结构驱动器,包括排梁结构、电容结构、和梳齿电极结构三部分;梳齿电极结构由多对电极并列组成,电极一端由两个导电连接梁将相同极性的电极连接形成通路,另一端连接在绝缘连接梁上;排梁结构中的导电微板处于梳齿电极之间,导电微板的两端分别与输出梁和弹簧连接;电容结构提供高压直流电压,在梳齿电极间产生静电场,导电微板在静电场中受到静电力,且力的方向在微板碰撞电极后发生改变,弹簧为排梁结构提供回复力,排梁结构在静电力与回复力共同作用下形成稳定振动,并由输出梁输出驱动力。本发明结构简单、质量轻、易于微型化、能量转化效率高。
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