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专利名称 | 多足直线压电驱动器与工作台 |
申请日 | 2010-03-23 |
申请号/专利号 | CN201010131680.2 |
专利权人 | 清华大学;北京航空航天大学;精拓丽音科技(北京)有限公司 |
申请人 | 清华大学;北京航空航天大学;精拓丽音科技(北京)有限公司 |
发明人/设计人 | 褚祥诚;袁松梅;查海勇;袁世明 |
公告日 | 2012-12-26 |
公告号 | CN101795088B |
法律状态 | 有效 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 |
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