便携式应急电源
镀铜焊丝的缺陷检测方法、装置、设...
电码的自动识别方法及存储介质
基于强化学习的楼栋摆放方法、装置...
用于观测水下生物的系统及其方法
一种电子设备的空中固件差分升级方...
一种印刷模切张力自动控制系统及其...
低功耗状态监控设备
一种利用RTP扩展头部解决视频帧...
一种高衍射效率相位型空间光调制器...
一种家装板材运输用包装机器人
航空发动机精密管路及其航空发动机...
宽光谱吸收的薄膜太阳能电池及光伏...
一种基于磁通压缩的脉冲磁体装置及...
一种总线访问仲裁装置及方法
一种处理网络抖动的方法及装置
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
一种基于小基线条件下的大畸变广角...
一种自动识别设备间网络拓扑结构的...
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
企业介绍页面,左右侧内容分别复制到相应容器即可,起始结束位置代码已作标注
专利名称滚筒式样品台以及用其进行粉体颗粒的磁控溅射镀膜方法
申请日2010-03-22
申请号/专利号CN201010131044.X
专利权人北京航空航天大学
申请人北京航空航天大学
发明人/设计人沈志刚;俞晓正;蔡楚江;麻树林;邢玉山
公告日2012-05-16
公告号CN101805893B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种滚筒式样品台以及用其进行粉体颗粒的磁控溅射镀膜方法,属于真空镀膜技术领域。该滚筒式样品台包括有滚筒、筛网、双模运动机构和振动机构,筛网与振动机构连接,滚筒与双模运动机构连接,滚筒的开口处设有靶材。在磁控溅射镀膜过程中,是将粉体颗粒放于滚筒内,根据粉体样品的分散性,调节滚筒的旋转速度及上下振动功率,粉体颗粒被翼片带到滚筒的上方,同时在滚筒的上下振动及重力作用下,粉体颗粒就会落到筛网中,筛网中的粉体在超声波的振动下垂直下落,在滚筒开口处入射来的溅射流就会在下落的粉体表面沉积,经过一定时间的沉积就会在粉体颗粒表面沉积上均匀性好、致密性高和附着力强的薄膜。
  关于我们  | 帮助中心  |  服务清单  |  发展历程 |  网站地图  |  手机访问

Copyrights 2016-2020  

南京锐阳信息科技有限公司 版权所有

苏ICP备17027521号-1

地址: 南京市秦淮区永智路5号五号楼3层