本发明涉及一种石英晶体微量天平的校准方法，属于航空航天技术领域。采用磁控溅射设备，在石英晶体微量天平表面沉积重金属金；给真空系统注入惰性气体；并观察、记录真空室的真空度；监测石英晶体微量天平的频率值和温度值，并保存；然后监测椭偏仪系统的Ｓ偏振光电流和Ｐ偏振光电流，并保存，最后关闭测试系统，关闭惰性气体充气系统，关闭真空系统。本发明提高了石英晶体微量天平精确测量的灵敏度，试验过程稳定可靠，复现性好，本发明中使用椭偏仪膜厚测量仪，为石英晶体微量天平校准提供了直接的膜厚测量方法，该方法测量精度高，测试过程稳定，复现性好。