本发明涉及一种导电性复合原子氧防护涂层ＩＴＯ／ＭｇＦ２的制备方法，特别是采用磁控溅射法用复合靶制备ＩＴＯ／ＭｇＦ２导电性复合涂层来实现基底材料的原子氧防护，属于航空航天技术领域。用导电胶将ＭｇＦ２片状材料均匀粘贴在ＩＴＯ靶上，然后将ＩＴＯ／ＭｇＦ２复合靶安装在磁控溅射设备的靶座上，得到了ＩＴＯ／ＭｇＦ２导电型复合原子氧防护涂层。ＩＴＯ／ＭｇＦ２复合涂层原子氧防护性能良好、有导电性，在空间等离子体环境中不积累静电；ＩＴＯ／ＭｇＦ２复合涂层柔韧性好，在用于柔性薄膜等需卷绕表面有明显优势；ＩＴＯ／ＭｇＦ２复合涂层对光线有增透作用，用于一些光学器件可提高工作效率。