一种金属结构静电驱动的ＭＥＭＳ继电器及其制备方法，属于继电器的设计制造技术领域。其特征在于，该继电器为双端固支形结构，分为上活动极板７和下固定极板４，上活动极板简称上极板和下固定极板简称下极板均为金属，可降低接触电阻。上极板开有阻尼孔９，可减小开关时的阻尼效应，同时也利于牺牲层８释放，保证结构完整，可防止出现结构释放时翻转侧倾失效。下极板采用上部绝缘材料层５和下部绝缘材料层３整体包覆，可以有效防止上、下极板接触后导通并保证上极板与衬底绝缘。本发明ＭＥＭＳ继电器具有驱动电压低、负载电流大的特点，在电子信息、工业控制、能源管理、交通、通讯、航空航天和军用领域中应用广泛。