本发明公开了一种高可靠精密驱动装置，包括外壳、伺服电机、传动机构和角度传感器。该驱动机构采用机电一体化集成设计，传动机构为新型少齿差减速器，通过角度传感器将输出传动误差给伺服电机来补偿驱动传动机构；特别是传动机构将圆锥型偏心凸轮与圆弧螺旋锥型齿轮有机组合为无侧隙精密传动副，并能自适应补偿齿面磨损；其传动副啮合面涂覆固体润滑膜，在特殊与极端环境下啮合齿面可产生适度的弹性变形，能有效防止和消除传动机构卡涩或卡死。因此，具有高刚度、高精度、高可靠、长寿命、大转矩、低能耗、小体积、轻量化、免维护等优点，可广泛适用于机器人、自动化、车辆、航空、航天等工程领域装备。