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专利名称一种MOEMS陀螺谐振腔及调节谐振腔的微镜空间状态的方法
申请日2009-08-10
申请号/专利号CN200910091138.6
专利权人北京航空航天大学
申请人北京航空航天大学
发明人/设计人刘惠兰;王勇;于怀勇;冯丽爽;周震
公告日2011-06-29
公告号CN101625242B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

一种MOEMS陀螺谐振腔及调节谐振腔的微镜空间状态的方法,以解决在现有的调节MOEMS陀螺谐振腔的方法中存在一次加工成型难度较高、初始对准精度较低的问题。本发明的谐振腔基板的中间区域固定设置,边缘区域的上下两端分别设置有微镜和压电陶瓷片,用于使设置有压电陶瓷片的边缘区域根据压电陶瓷片产生的位移而产生形变;压电陶瓷片,设置在谐振腔基板的下端,用于根据施加的电压产生位移,使谐振腔基板产生形变。本发明通过在谐振腔基板边缘区域设置微镜和压电陶瓷片,压电陶瓷片产生位移使谐振腔基板产生形变调整微镜的俯仰角和偏转角,实现了一次加工成型工艺用于MOEMS陀螺谐振腔的制造,能够对陀螺的初始对准精度进行精确的调整。
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