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专利名称基于硅硅直接键合的压力传感器及其制造方法
申请日2009-04-22
申请号/专利号CN200910031012.X
专利权人江苏英特神斯科技有限公司
申请人江苏英特神斯科技有限公司
发明人/设计人沈广平;何野;徐波
公告日2011-07-27
公告号CN101551284B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种基于硅硅直接键合的压力传感器,包括一个具有浅槽(8)的硅衬底(1),硅衬底(1)上为单晶硅应力薄膜(2),硅衬底(1)与应力薄膜(2)间为二氧化硅层(3);在应力薄膜(2)上为四个P型单晶硅压阻(4),应力薄膜(2)与压阻(4)间为绝缘介质二氧化硅层(7);压阻(4)之间利用浓硼掺杂硅(9)和金引线(6)形成惠斯通电桥。本发明的压力传感器采用硅硅直接键合技术形成应力薄膜和密封腔,其压阻采用二氧化硅作为绝缘层,工作温度可高达300℃;结构牢固,性能优良,可以满足汽车、航空航天等领域对高温压力传感器的需求。本发明还涉及所述压力传感器的制造方法。
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