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| 专利名称 | 基于硅硅直接键合的压力传感器及其制造方法 |
| 申请日 | 2009-04-22 |
| 申请号/专利号 | CN200910031012.X |
| 专利权人 | 江苏英特神斯科技有限公司 |
| 申请人 | 江苏英特神斯科技有限公司 |
| 发明人/设计人 | 沈广平;何野;徐波 |
| 公告日 | 2011-07-27 |
| 公告号 | CN101551284B |
| 法律状态 | 有效 |
| 专利类型 | 发明 |
| 行业分类 |
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