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专利名称 | 一种具有Y2O3抗侵蚀涂层坩埚及其采用注浆成型工艺制Y2O3抗侵蚀涂层的方法 |
申请日 | 2009-03-16 |
申请号/专利号 | CN200910079970.4 |
专利权人 | 北京航空航天大学 |
申请人 | 北京航空航天大学 |
发明人/设计人 | 唐晓霞;张花蕊;高明;张虎 |
公告日 | 2011-07-27 |
公告号 | CN101498549B |
法律状态 | 有效 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 |
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