一种微惯导测量实体外形的装置，包括外形数据采集探针组、捷联惯性导航系统、数据存储器；外形数据采集探针组由一排带压力传感器的可伸缩探针组成，捷联惯性导航系统由微型惯性测量单元和导航计算机组成，测量时先对准，后测量实体的一个表面，再对准，再测量，直至结束，由处理软件计算出实体外形。本发明运动自由，能以方便的姿态测量实体内部和外部外形；体积小，操作方便；成本低，便于推广应用。本发明适用于机械、建筑、航空、航天、军工、汽车、工业制造等行业中三维复杂实体尺寸、外形和相互位置的准确测量，尤其适用于各种实体的逆向工程。