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专利名称一种MEMS陀螺仪的差分测量方法
申请日2007-10-25
申请号/专利号CN200710176338.2
专利权人北京航空航天大学
申请人北京航空航天大学
发明人/设计人房建成;张海鹏;冯浩楠;蒋颜玮;马艳武;谭丽伟
公告日2009-11-11
公告号CN100559123C
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

一种MEMS陀螺仪的差分测量方法,挑选两个环境敏感特性相似性接近的MEMS陀螺仪组成陀螺仪差分对,通过安装使两个MEMS陀螺仪的角速度敏感轴方向相反,并均与同一条被测转动轴平行,敏感同一个外界输入角速度,通过测试、标定试验,确定两个陀螺仪的主要参数以及二者之间的环境系数比值,在实际应用时,按照输入角速度实时解算公式,解算出高精度的输入角速度值。本发明选用相同类型、相同加工工艺的陀螺仪,利用了同种类型MEMS陀螺仪对环境因素反应特性的相似性,差分安装抑制输出漂移的特性,通过对陀螺对输出数据的处理来提高MEMS陀螺仪的测量精度。本发明适用于各种MEMS陀螺仪的应用领域,尤其适用于要求MEMS陀螺仪成本低,系统输出精度高的场合。
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