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专利名称一种MEMS陀螺仪的精密安装基准体组件及其安装方法
申请日2007-08-06
申请号/专利号CN200710119970.3
专利权人北京航空航天大学
申请人北京航空航天大学
发明人/设计人房建成;张海鹏;陶冶;冯浩楠;秦杰;蒋颜伟
公告日2009-04-08
公告号CN100476358C
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

一种MEMS陀螺仪的精密安装基准体组件及其安装方法,包括精密安装基准体和敏感轴水平的微型MEMS振动陀螺仪本体,陀螺仪本体嵌入到基准体内部凹陷空间里,基准体采用装配性能和二次加工性能优良的材料制成,组件通过第一基准面和第二基准面与载体连接。安装时先加工出基准体初型,并安装陀螺仪,再测试出陀螺的输入轴失准角,计算出安装偏角,然后根据偏角,修正安装基准体的基准面,使偏角趋向于零。本发明利用了基准体制备材料优良的装配性能和二次加工性能,通过加工和修正来提高陀螺安装精度,适用于各种通过电路板安装的敏感轴水平的微型陀螺仪,尤其适用于组成各种小型化运载体中惯性测量单元的微型MEMS振动陀螺仪。
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