一种一体化、五自由度电涡流传感器，能够测量磁轴承转子实际位置与给定位置之间的位移偏差信号，实现对磁轴承转子的稳定控制。传感器由传感器探头、测量电路、壳体组成，１２个传感器探头及其测量电路采取一体化设计，避免了传感器探头与测量电路之间的延伸电缆所带来的干扰。４个径向传感器探头组成差动式结构，探测两个正交方向的径向转子平动位移；８个轴向传感器探头组成差动式结构，探测转子轴向平动位移以及两个正交方向的转子转动位移。本发明使传统磁轴承必须分别两端配置的两只传感器简化为一只，就可以提供磁轴承控制所需要的转子五个自由度的位移信号，减小了磁轴承体积、减轻了重量。本发明适用于磁悬浮飞轮、磁悬浮控制力矩陀螺等高精度航天器姿态执行机构。