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专利名称微细磁性元件及其电化学制造方法
申请日2006-10-12
申请号/专利号CN200610096724.6
专利权人南京航空航天大学
申请人南京航空航天大学
发明人/设计人曲宁松;朱狄;曾永彬
公告日2010-05-12
公告号CN1959879B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明涉及一种微细磁性元件及其电化学制造方法,属于电铸制造领域。本发明的微细磁性元件特征在于:具有复合层与强磁性粒子层交替形成的叠层结构,且所述的复合层由金属与强磁性粒子组成。这样,显著提高磁性元件的最大磁能积,并且,在具有高最大磁能积的同时,显著降低磁性元件的尺寸。本发明的微细磁性元件的电化学制造方法,包括以下步骤:(1)、将掩膜板浸入含有强磁性粒子的电解液中;(2)、将电铸电源负极与所述掩膜板相连,正极与阳极相连;(3)、利用掩膜板上的掩膜限制沉积区域;(4)、在掩膜板后方放置一块磁铁;(5)、控制电铸回路有规律的导通和断开,使掩膜板上形成叠层结构的沉积层。
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