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专利名称空间谐振式微光机电陀螺
申请日2006-05-24
申请号/专利号CN200610081172.1
专利权人北京航空航天大学
申请人北京航空航天大学
发明人/设计人冯丽爽;张春熹;刘惠兰;杨德伟;林恒;马迎建;刘恒;贺斌;许光磊
公告日2009-01-21
公告号CN100453973C
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种空间谐振式微光机电陀螺,由陀螺检测电路模块和光电混合集成模块组成,光电混合集成模块由光源、第一探测器、第二探测器、多通道光功率分配器和空间谐振腔组成,光源输出端与多通道光功率分配器输入端光耦合连接,多通道光功率分配器输出端与空间谐振腔、第一探测器、第二探测器光耦合连接;多通道光功率分配器输出的一路平行光经菲涅耳微透镜A射入空间谐振腔中,且在空间谐振腔内形成顺时针传播的平行光,所述顺时针传播的平行光经菲涅耳微透镜B射出至第二探测器中;多通道光功率分配器输出的另一路平行光经菲涅耳微透镜B射入空间谐振腔中,在空间谐振腔内形成逆时针传播的平行光,所述逆时针传播的平行光经菲涅耳微透镜A射出至第一探测器中;第一探测器和第二探测器将光转换成电信号输出至陀螺检测电路,并由陀螺检测电路输出驱动信号给光源。
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