一种三维微细结构电铸方法及装置，属于微细加工领域。该方法是用屏蔽阳极膜板限制电沉积发生的区域。计算机控制电源供电，使电沉积过程间隔进行。在非电沉积时间段，使屏蔽阳极膜板与阴极相对移动，根据零件轮廓形状确定其ｘ、ｙ方向上的相对位移。同时，在每个沉积周期开始时，根据电铸产物的高度ｈ，确定屏蔽阳极膜板与阴极在ｚ方向的相对位移，以保证沉积层表面略低于胶层表面或和胶层表面在同一高度。实现该方法的设备关键在于将电铸设备与数控装置结合，实现屏蔽阳极膜板、阴极的相对移动以及沉积产物高度的在线测量。应用本发明能制造出组织致密、侧壁陡直、任意深宽比且成本低廉的金属微结构。