一种激波压力扰动辅助电火花加工高深宽比微细结构的装置与方法，属微细电火花加工领域，其装置包括激波发生器（１２），激波发生器电源（１６），装有电极夹头（１４）的工具电极（１３），所述激波发生器，由环状聚焦超声换能器（１），密封垫（２），导向器绝缘套（３），微细电极导向器（４），端盖（５）及进电座（６）所组成；其方法，采用脉冲超声波聚焦方法，产生高能聚焦超声波，在加工区的固液表面形成具有瞬时高压效应的压力激波，对加工区产生定向瞬时压力脉冲压力扰动，促进电火花加工蚀除物的排除。该发明结构简单，使用方便，可产生具有瞬时高温高压效应的压力激波，不但促进微细电火花加工蚀除产物的排除，而且不影响加工区工艺系统的稳定性，有利于提高加工效率和加工精度。