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专利名称一种提高掺硼金刚石电极膜基结合性能的纳秒激光基体预处理方法
申请日2018-02-26
申请号/专利号CN201810158835.8
专利权人南京航空航天大学
申请人南京航空航天大学
发明人/设计人徐锋;许晨辉;施莉莉;高继业;王雪;左敦稳
公告日2020-02-07
公告号CN108315711B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

一种纳秒激光预处理技术处理金属基底,以提高掺硼金刚石涂层电极与基底结合性能的方法,其特征是它的主要步骤有:首先对金属基底进行超声预清洗以去除表面油污、碎屑,其次采用小功率纳秒激光对基底表面进行清洗,之后采用特定激光参数对金属基底表面进行预处理从而得到具有一定粗糙度的、形貌均匀分布的织构,然后,针对在高温下易与空气反应的基底材料,需重复纳秒激光清洗步骤以去除表面氧化层,然后,将处理得到的基底置于金刚石悬浊液中植晶及超声清洗,最后,将处理好的金属基体置于化学气相沉积设备内进行掺硼金刚石制备。本发明工艺简单,操作容易,且相对于喷砂、研磨等预处理方法,膜基结合性能得到了明显改善。
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