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专利名称 | 一种适应于高温环境的SiC压阻式加速度传感器制备方法 |
申请日 | 2018-02-09 |
申请号/专利号 | CN201810135219.0 |
专利权人 | 中北大学 |
申请人 | 中北大学 |
发明人/设计人 | 石云波;刘俊;孙亚楠;唐军;李杰;赵锐;曹慧亮;黄堃;高晋阳;寇志伟;任建军;赵永祺;赵思晗 |
公告日 | 2019-07-05 |
公告号 | CN108328568B |
法律状态 | 有效 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 |
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