本发明的CVI法制备SiC产生尾气的处理方法，所述设备包括：高温热解系统、冷却过滤系统、反应吸附系统、真空系统、水环过滤系统和引风系统。本发明的CVI法制备SiC产生尾气的处理设备采用多级联用处理的方法，对CVI‑SiC工艺所产生的尾气进行处理，充分考虑到尾气各组分，解决了尾气各组分处理的问题，消除了尾气遇空气易燃易爆等安全隐患，保障CVI‑SiC工艺过程的安全进行；同时，本发明所采用多级处理方法，各处理系统设计合理，功能专一，可保证设备长期使用，设备安全可靠，操作简便，维护简单。