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专利名称一种基于振镜和成像透镜的快速光学扫描装置
申请日2017-11-22
申请号/专利号CN201721576499.6
专利权人北京航空航天大学
申请人北京航空航天大学
发明人/设计人苏飞;李腾辉;苏邺昊
公告日2018-06-29
公告号CN207557580U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型公开一种基于振镜和成像透镜的快速光学扫描装置,包括光学振镜(含场镜)、成像凸透镜与光电探测器。其中,光学振镜具有两个绕垂直方向转轴转动的反光镜,可以将光学振镜的入射光沿两个垂直的方向偏转,形成平面内的扫描动作;光学振镜的下一个元件为成像凸透镜,用来回笼不同角度的扫描光线,使之落在同一个点上,该点处设置光电探测器。在进行透射式检测时,成像凸透镜与光学振镜分别位于待测试件的两侧;而在进行反射式检测时,成像凸透镜与光学振镜位于待测试件的同侧。本实用新型扫描速度极高,噪声小,避免了传统机械扫描中因试件的惯性造成的扫描速度慢和精度差的问题。
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