本发明提供了一种CrSiBCN纳米复合薄膜的制备方法，属于薄膜摩擦学及表面工程领域，能够提高CrN薄膜的硬度，降低CrN薄膜的干摩擦系数。本发明包括不锈钢基材的清洗、过渡层制备及纳米复合薄膜制备三个步骤，利用非平衡磁控溅射技术，在Ar、N2或含Si、C元素气体的混合气氛中，共溅射直流（DC）和射频（RF）磁控靶，在不锈钢基材上制备CrSiBCN纳米复合薄膜，本发明提供的CrSiBCN纳米复合薄膜制备方法中，Si、C元素可以来源于反应气氛也可以来源于溅射靶材，制备工艺可操作性强，对靶位和气路配置数不同的非平衡磁控溅射系统均适用。