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专利名称一种用于高精度定位和测量的二维三自由度微动平台结构
申请日2017-09-13
申请号/专利号CN201710821868.1
专利权人南京航空航天大学;天奇自动化工程股份有限公司
申请人南京航空航天大学;天奇自动化工程股份有限公司
发明人/设计人楼佩煌;郭大宏;钱晓明;马群;武星
公告日2020-02-21
公告号CN107833594B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开一种用于高精度定位和测量的二维三自由度微动平台结构,首先,利用两组串联的柔性铰链并联成移动副。移动副一端固定,另一端施加驱动力。驱动力通过杠杆放大,驱动移动副做平动和转动。移动副带动平台的柔性铰链做转动,从而驱动平台产生相应位移。其次,本发明由四个相同移动副构成,四个相同移动副分别和四个相同的第一柔性铰链组成四条支链,四条支链布置不同,平台对面的两条支链呈中心对称,呈中心对称的两条支链构成一组,一共有两组。最后,本发明的驱动可以采用压电驱动方式,从而产生x轴方向的线位移、y轴方向的线位移和绕z轴方向的角位移,用于光学精密定位和精密测量。
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