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专利名称用形位限定法生长刀具金刚石织构涂层的方法
申请日2017-09-06
申请号/专利号CN201710795152.9
专利权人南京航空航天大学
申请人南京航空航天大学
发明人/设计人张召;卢文壮;刘巍;庞婧;张盛;孙玉利;左敦稳
公告日2019-02-26
公告号CN107523799B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

一种用形位限定法生长刀具金刚石织构涂层的方法,其特征是它包括以下步骤:首先,对基材进行前处理,以利于金刚石涂层的沉积;其次,在经过前处理的基材表面覆盖设有镂空结构的掩膜;第三,在镂空结构对应的基体上沉积一层高熔点材料涂层和阻生元素涂层;将掩膜从基体上取下后或直接对沉积有高熔点材料涂层及阻生元素涂层处进行刻蚀加工,形成与最终刀具形状相反的织构凸起;向刻蚀沟槽中涂履金刚石粉以利于后续纳米金刚石沉积时易于成核;将基材置于沉积炉对刻蚀区域及整个基体表面进行纳米金刚石沉积;去除基体表面的未沉积纳米金刚石涂层的织构凸起,露出纳米金刚石深积层。本发明织构形成方法,简单易行,能提高刀具制造效率和质量。
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