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专利名称一种差动式石墨烯谐振梁加速度传感器
申请日2017-05-12
申请号/专利号CN201710332648.2
专利权人北京航空航天大学
申请人北京航空航天大学
发明人/设计人樊尚春;石福涛;邢维巍
公告日2019-06-25
公告号CN107015025B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种差动式石墨烯谐振梁加速度传感器,包括基底(1)、敏感质量板(2)、绝缘层一(3)、绝缘层二(4)、激励电极对一(5)、石墨烯谐振梁一(6)、石墨烯谐振梁二(7)、绝缘层三(8)、激励电极对二(9)和真空罩(10)。本发明采用直接敏感加速度方式:敏感质量块直接感受被测加速度,将被测加速度转化为集中力引起敏感质量块的轴向位移,进而引起石墨烯谐振梁轴向应力的变化,从而导致梁谐振频率的变化,通过检测梁的谐振频率即可实现对加速度的测量。本发明中位于敏感质量块轴向的两个石墨烯谐振梁,在被测加速度方向工作于差动模式,从而增强检测信号,提高灵敏度与测量准确性,抑制共轭干扰。
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